المشاريع

في صناعة أشباه الموصلات، حتى الكميات الضئيلة جدًا من الأيونات المعدنية أو شوائب الجسيمات أو الملوثات العضوية قد تُسبب عواقب وخيمة. فهذه الشوائب قد تُغير مسارات نقل الإلكترونات داخل الشريحة، وتزيد من مقاومتها، وتؤدي إلى توليد حرارة مفرطة وتدهور في أدائها. كما قد تُسبب الشوائب قصرًا كهربائيًا ومشاكل أخرى، مما يُعطل الشريحة. ووفقًا لأبحاث ذات صلة، قد تصل خسائر الإنتاج الناتجة عن مشاكل نقاء الكواشف الكيميائية في عملية تصنيع الشريحة إلى ما بين 20% و30%، وهو ما يُمثل بلا شك تحديًا كبيرًا لصناعة أشباه الموصلات التي تسعى جاهدةً لتحقيق دقة عالية وإنتاجية عالية.

الدور الرئيسي لمضخات الدفع المغناطيسي في ذلك

في عملية تصنيع أشباه الموصلات بأكملها، تضمن مضخات الدفع المغناطيسي استمرارية نقل الكواشف الكيميائية. يضمن تشغيلها المستمر والمستقر توريد الكواشف الكيميائية اللازمة لمختلف العمليات في الوقت المناسب، مما يجنب توقف الإنتاج بسبب انقطاع إمدادات الكواشف. على سبيل المثال، في عملية ترسيب الأغشية، من الضروري توريد غازات محددة وكواشف كيميائية سائلة إلى غرفة التفاعل باستمرار. يضمن التشغيل المستقر للمضخة الكيميائية استمرارية عملية الترسيب، مما يسمح بنمو موحد للأغشية، ويضمن الخصائص الكهربائية وموثوقية الشريحة.

باعتبارها نوعًا من المضخات الكيميائية الشائعة في صناعة أشباه الموصلات، فإن أبرز ما يميز مضخة الدفع المغناطيسي هو تصميمها الفريد بدون أختام ميكانيكية. تستخدم المضخة اقترانًا مغناطيسيًا لنقل الطاقة، ويتفاعل عمود المضخة وعمود المحرك معًا عبر القوة المغناطيسية، دون الحاجة إلى أجهزة الإغلاق الميكانيكية التقليدية. هذا التصميم المحكم الإغلاق يشبه وضع "درع واقي" قوي للكواشف الكيميائية، مما يمنع بشكل أساسي احتمالية تسرب المواد. في عملية تصنيع أشباه الموصلات، حتى التسريبات الصغيرة جدًا يمكن أن تسبب مشاكل تلوث خطيرة، وظهور المضخات المغناطيسية يحل هذا الخطر الخفي تمامًا. أثناء نقل المقاوم الضوئي، تضمن المضخة المغناطيسية تدفق المقاوم الضوئي بثبات في خط أنابيب مغلق دون أي تسرب، مما يضمن نقاءً عاليًا للمقاوم الضوئي. في نقل حمض الهيدروفلوريك عالي النقاء من الدرجة الإلكترونية، فإن الخصائص المغلقة بالكامل للمضخة المغناطيسية تتجنب بشكل فعال الاتصال بين حمض الهيدروفلوريك والهواء الخارجي، وتمنع تطاير حمض الهيدروفلوريك والضرر الذي قد يلحق بالبيئة والموظفين بسبب التسريبات، وفي الوقت نفسه تضمن عدم تأثر نقاء حمض الهيدروفلوريك، مما يوفر ضمانًا موثوقًا به لعمليات النقش اللاحقة.